详细摘要： 激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌，测量精度高达 0.06um 甚至更高，广泛用于平面光学元件高精度检测。

详细摘要： 激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌，测量精度 Pv 高达 0.06μm 甚至更高，广泛用于平面光学元件高精度检测。